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薄膜、塊體樣品制備
ALD原子層沉積設(shè)備
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產(chǎn)品分類大尺寸臺(tái)式熱原子層沉積系統(tǒng) ALD 安瑞克(ANRIC)技術(shù)公司開(kāi)發(fā)的原子層沉積(ALD)是一種氣相薄膜沉積技術(shù),以其出色的匹配性、均勻性以及亞納米級(jí)的厚度控制而著稱。其基本原理基于自限性表面反應(yīng),即依次將前驅(qū)體引入到基底上,每次循環(huán)形成一層原子級(jí)薄膜。這種精確的控制使得能夠沉積出無(wú)缺陷且可重復(fù)的超薄薄膜,從光滑表面到復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)(如溝槽、多孔材料、纖維、膜和納米管)都能實(shí)現(xiàn)。
市面上最小的ALD,可放進(jìn)手套箱,來(lái)自美國(guó)哈佛的原子層沉積系統(tǒng)$n兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,具有超快 MFC,用于集成惰性氣體吹掃。
PICOSUN R-200 標(biāo)準(zhǔn)型ALD系統(tǒng),PICOSUN®R-200標(biāo)準(zhǔn)ALD系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā),例如IC組件、MEMS器件、顯示器、LED、激光和3D對(duì)象,例如透鏡、光學(xué)器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物
PICOSUN™R-200高級(jí)型ALD系統(tǒng)是ALD科研設(shè)備市場(chǎng)的,在擁有百用戶
PICOSUN®P-300BALD系統(tǒng)是專為生產(chǎn)MEMS設(shè)備(例如打印頭,傳感器和麥克風(fēng))以及各種3D物品(例如機(jī)械零件,玻璃或金屬薄板,硬幣,手表零件和珠寶,鏡片,光學(xué)器件以及醫(yī)療設(shè)備和植入物